Nikkel-borlegeringsmål til sputtering

Dec 01, 2025 Læg en besked

Nikkel-borlegeringsforstøvningsmål er forstøvningsbelægningsmaterialer fremstillet primært af nikkel (Ni) og bor (B) gennem en fortætningsproces med høj-renhed. De er almindeligt anvendt i halvledere, optiske tynde film og solceller. Nikkel-borfunktionelle tynde film aflejres på substratoverflader ved hjælp af fysiske dampaflejringsteknikker (PVD) såsom magnetronforstøvning.

 

Forberedelsesmetoder for nikkel-bårne legeringsforstøvningsmål

 

Råmaterialeforberedelse: Nikkelpulver med høj-renhed og borpulver med høj-renhed vælges som råmaterialer.

Formning: Kold isostatisk presning er almindeligt anvendt. Pulveret fyldes i en elastisk form (såsom en gummiform) og forsegles. Derefter anbringes den i en højtryksbeholder, og isotropisk højtryk (f.eks. 200-400 MPa) påføres gennem et flydende medium (olie eller vand) for at presse det ind i et "grønt emne" med en vis styrke.

Sintring: I et vakuummiljø påføres høj temperatur (normalt under nikkels smeltepunkt, ca. 1000-1200 grader) og ensrettet tryk på emnet samtidigt for at opnå en legering med høj densitet.

Efterfølgende bearbejdning: Ved hjælp af drejebænke, fræsemaskiner, slibemaskiner etc. bearbejdes de sintrede emner præcist til de endelige mål, som kunden ønsker.

 

Anvendelser af nikkel-borlegeringsmål

 

Overfladebeskyttende belægning: Aflejring af nikkel-bor tynde film på overfladerne af let slidte dele såsom lejer, tandhjul, forme og skærende værktøjer kan forlænge deres levetid betydeligt.

Elektronikindustrien: Ved at bruge dens justerbare modstand kan den bruges til at fremstille tyndfilmsmodstande med høj-præcision og høj-stabilitet.

Optikindustri: På grund af dens tætte og stabile egenskaber bruges den nogle gange som en beskyttende belægning til visse optiske linser.

2